等离子体源离子注入表面改性研究及应用Study and Application on Surface Modification by Plasma Source Ion Implantation
王钧石,柳襄怀,王曦,陈元儒
摘要(Abstract)：
采用等离子体源离子注入技术 (PSII)对W18Cr4V高速钢进行了氮离子注入。用俄歇能谱仪对注入层的成分进行了分析。对注入层的显微硬度和耐磨性进行了测试。用扫描电镜对摩擦磨损表面进行了分析。研究结果表明 :氮在注入层呈高斯分布 ,注入层的硬度和耐磨性均明显提高。对等离子体源离子注入技术在航空液压泵配油盘上的应用进行了研究。应用研究结果表明 :经等离子体源离子注入后的配油盘单位行程内回油量的增加量比未注入前下降约 90 % ,从而明显地增加了配油盘的使用寿命
关键词(KeyWords)： 等离子体源离子注入(PSII);表面改性
基金项目(Foundation): 中国科学院离子束开放研究实验室基金资助项目(1 0 0 0 2 7)
作者(Author): 王钧石,柳襄怀,王曦,陈元儒
参考文献(References)：
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